准分子激光预处理对硬质合金表面沉积金刚石薄膜结合强度的影响

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研究了不同表面预处理条件下,硬质合金表面沉积金刚石薄膜的附着强度和破坏方式.结果表明,准分子激光预处理可以大幅度提高金刚石薄膜的附着强度,其作用机理是由于准分子激光辐照处理使硬质合金表面层的Co选择性蒸发,避免了Co对金刚石薄膜沉积的有害影响,以及由于高能激光束引起的表面改性(粗糙化)所产生的对金刚石薄膜的“锚链效应”. The adhesion strength and failure mode of diamond films deposited on the cemented carbide surface were studied under different surface pretreatment conditions. The results show that the excimer laser pretreatment can greatly improve the adhesion strength of the diamond thin film. The mechanism is that cobalt is selectively evaporated on the surface layer of the cemented carbide by excimer laser irradiation to avoid the harmful effect of Co on the deposition of the diamond thin film Influence, and the “chain-chain effect” on the diamond film due to the surface modification (roughening) caused by the high-energy laser beam.
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