Al质量分数对磁控溅射Ti_(1-x)Alx N薄膜结构和摩擦学性能的影响

来源 :河南科技大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yong1123

【摘要】

：

针对TiAlN薄膜耐磨性不够优异的问题,研究了Al质量分数对Ti1-xAlxN薄膜结构和摩擦学性能的影响。采用磁控溅射沉积技术制备了4种不同Al质量分数的Ti1-xAlxN薄膜。利用扫描电

【作者】

：

张世玺蔡海潮薛玉君畅为航田昌龄

【机构】

：

河南科技大学机电工程学院,河南科技大学河南省机械设计及传动系统重点实验室

【出处】

：

河南科技大学学报:自然科学版

【发表日期】

：

2021年4期

【关键词】

：

Al质量分数磁控溅射 Ti_(1-x)Al_(x)N薄膜摩擦学性能

【基金项目】

：

国家国防基础科研计划基金项目(JCKY2018419C101),河南省科技攻关项目(202102210073)。

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

针对TiAlN薄膜耐磨性不够优异的问题,研究了Al质量分数对Ti_1-xAl_xN薄膜结构和摩擦学性能的影响。采用磁控溅射沉积技术制备了4种不同Al质量分数的Ti_1-xAl_xN薄膜。利用扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)及X射线衍射仪(XRD),对薄膜的微观形貌、元素成分与晶体结构进行了表征。采用纳米压痕仪测试薄膜的硬度和弹性模量,用摩擦磨损试验机和白光干涉三维形貌仪测试薄膜的摩擦磨损性能。研究结果表明:随着Al质量分数

其他文献

中国唐代书法与西方现代派绘画的异同——以欧阳询和马蒂斯为例

元代赵孟頫提出"书画同源"一词,意为书法和绘画关系密切,二者的产生和发展相辅相成。书法的源头本来就是极简的图像,并且发展成为真正的书法艺术之后与绘画的美的标准和规则

期刊

书法绘画关系

吴冠中风景写生油画的密码

摘要：文章主要对吴冠中先生在1957年至1963年间创作的一系列油画作简要分析，从构思、色彩和造型的技藝方面讲起，简要地归纳吴冠中先生绘画语言的艺术特征与艺术追求，进而阐析在那个特殊的历史时期，何为他心中的绘画艺术。　　关键词：吴冠中;风景写生;油画;整体构思;色彩;造型;抽象　　语言是人类进行沟通交流的表达方式。　　狭义的语言是指生物同类之间由于沟通需要而制定的具有统一编码解码标准的声音（图像

期刊

吴冠中风景写生油画整体构思色彩造型抽象

论“清初四僧”的艺术特色及时代精神

明末清初,画家弘仁、髡残、八大山人、石涛由明入清,国破家亡,他们痛心不已,便出家为僧以示不臣服清廷,后世称其为"清初四僧"。"清初四僧"将亡国之痛反映在画中,他们虽然画风

期刊

“清初四僧”绘画风格创新精神

温拌技术对成品高黏沥青性能的影响

针对目前对于温拌成品高黏沥青性能研究较少的问题,对成品高黏沥青分别采用3种不同的温拌技术,得到4种温拌高黏沥青。通过对车辙因子、60℃零剪切黏度、蠕变劲度S、蠕变速率M

期刊

温拌技术高黏沥青高温性能低温性能抗疲劳性能

Al质量分数对磁控溅射Ti_(1-x)Alx N薄膜结构和摩擦学性能的影响

与本文相关的学术论文