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光电位置敏感器件（PSD）是一种可直接对其光敏面上光斑位置进行检测的光电器件,基于光电位置敏感器件可以构成多种非接触的高精度动态位移监测仪器。介绍了位置敏感探测器（PSD）的工作原理及其性能,分析了PSD工作时杂散光对其测量的影响,提出其相应解决方案。
PSD抗杂光干扰措施的研究
【摘 要】
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光电位置敏感器件（PSD）是一种可直接对其光敏面上光斑位置进行检测的光电器件,基于光电位置敏感器件可以构成多种非接触的高精度动态位移监测仪器。介绍了位置敏感探测器（PSD）的
【机 构】
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中北大学电子工程系
【出 处】
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机械管理开发
【发表日期】
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2007年5期
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