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进入纳米时代后,纳米材料与纳米器件的性能不只取决于块体材料的性质,而更主要是由材料的表、界面性质来决定.为了避免由于表面污染而造成的改变与损伤,薄膜材料通常需要放置于超高真空环境中.本文介绍了纳米真空互联大装置的必要性、功能,以及支持项目和取得的重要进展.
纳米真空互联大装置(Nano-X)及其应用进展
【摘 要】
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进入纳米时代后,纳米材料与纳米器件的性能不只取决于块体材料的性质,而更主要是由材料的表、界面性质来决定.为了避免由于表面污染而造成的改变与损伤,薄膜材料通常需要放置
【机 构】
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所,江苏 苏州,215123
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2019年6期
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