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介绍一种以USB2.0为接口的实时极紫外光强检测系统。光敏二极管输出电压经模拟放大器OP07放大后,再经模数转换器ADS8322转换得到与光强成线性的数字量,用VC＋＋6.0编程对CY7C68013A芯片I/O端口控制实现对转换后的数字量的实时采集,从而实现对193nm光刻照明系统光强的实时检测。