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用非平衡热力学耦合模型研究了金刚石在ＣＨＣｌ体系中的生长，计算所得ＣＨＣｌ体系的金刚石生长的相图与大量实验结果符合良好．通过热力学分析讨论了氯的添加对提高金刚石薄膜生长速率及其质量的影响以及降低淀积温度的作用
氯参与的化学气相淀积金刚石的热力学分析
【摘 要】
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用非平衡热力学耦合模型研究了金刚石在ＣＨＣｌ体系中的生长，计算所得ＣＨＣｌ体系的金刚石生长的相图与大量实验结果符合良好．通过热力学分析讨论了氯的添加对提高金刚石薄膜生长速率
【机 构】
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复旦大学电子工程系ＣＶＤ研究室,北京理工大学材料科学研究室
【出 处】
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高等学校化学学报
【发表日期】
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1999年01期
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