用超声焊接和溅射腐蚀法制作超声换能器

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前言高效率产生频带百兆赫到千兆赫的超声波的技术,对制作优质的声学器件和声光器件是必不可少的。因此,已进行了若干次试验,而至今其中获得最成功的是:利用薄膜换能器和兼用本文所要叙述的超声焊接法和溅射腐蚀法制成的高频单晶换能器。前者由于材料上的限制,尤其象声光器件那样,需要 Preface High-efficiency technology that produces ultrasound in the 100 MHz to the GHz range is essential for making high-quality acoustic and acoustooptic devices. As a result, several tests have been conducted and the most successful to date is the use of thin-film transducers and high-frequency single crystal transducers made by the ultrasonic welding and sputter etching methods described herein. The former due to material constraints, especially as acousto-optic devices that need
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