【摘 要】
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为了简化制作工艺,使温度分布均匀以及降低功耗,设计了一种基于MEMS制造工艺的悬臂共面式SnO2气体传感器.使用有限元法对这种传感器及膜结构堆积于硅基底上的封闭膜式气体传
【基金项目】
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The National Natural Science Foundation of China （No.58175122）, the Natural Science Foundation of Jiangsu Province （No.BK2007185）, the Natural Science Foundation of Higher Education Institutions of Ji
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为了简化制作工艺,使温度分布均匀以及降低功耗,设计了一种基于MEMS制造工艺的悬臂共面式SnO2气体传感器.使用有限元法对这种传感器及膜结构堆积于硅基底上的封闭膜式气体传感器进行了稳态热分析,结果表明悬臂共面式传感器拥有更均匀的温度分布和更低的功耗.当最高温度为383℃时功耗仅为7mW,敏感薄膜上的温差低于14℃.为解决悬臂易碎的问题,提出了一种新的制造工艺,该过程在正面刻蚀SiO2层形成悬臂结构前沉积SnO2敏感薄膜,并采用深反应离子刻蚀的方法对硅基底进行体刻以避免湿法刻蚀对传感器表面的化学污染.整个过
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