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综述了国内最先进的第5代TFT-LCD生产线的取向膜工艺。并探讨了各取向膜工艺参数对取向膜厚度和预倾角大小的影响，从而根据产品设计需要改变工艺参数指导实际生产。
TFT—LCD取向层工艺及其关键参数
【摘 要】
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综述了国内最先进的第5代TFT-LCD生产线的取向膜工艺。并探讨了各取向膜工艺参数对取向膜厚度和预倾角大小的影响，从而根据产品设计需要改变工艺参数指导实际生产。
【机 构】
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中国电子科技大学,北京京东方光电科技有限公司
【出 处】
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现代显示
【发表日期】
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2006年9期
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