使用非晶硅的热电传感器与应变传感器

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一、前言非晶硅作为太阳电池用材料,正在引起广泛注意。作为最近传感器用材料,也开始被重视。本文将概述利用非晶硅热电效应(塞贝克效应)的热电传感器和利用应变电阻效应的应变传感器。 First, the foreword Amorphous silicon as a solar cell material, is drawing widespread attention. As a recent sensor material, has also begun to be valued. This article will outline thermoelectric sensors that utilize the amorphous silicon thermoelectric effect (Seebeck effect) and strain sensors that use the strain-resistance effect.
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