移相式微分干涉相衬显微测量系统的研制

来源 :光电子·激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dlufey

【摘要】

：

在微分干涉相衬显微镜的基础上,加入波片相移装置及图像采集处理,建立了移相式微分干涉相衬显微测量系统 ;分析并解决了表面微观形貌测量中存在的一些技术难题;准确地重构出

【作者】

：

惠梅李庆祥王东生徐毓娴

【机构】

：

清华

【出处】

：

光电子·激光

【发表日期】

：

2002年11期

【关键词】

：

移相式显微测量微分干涉相衬表面微观形貌显微镜图像采集 Phase stepping interferometry Differential inter

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在微分干涉相衬显微镜的基础上,加入波片相移装置及图像采集处理,建立了移相式微分干涉相衬显微测量系统 ;分析并解决了表面微观形貌测量中存在的一些技术难题;准确地重构出了物体的微观三维形貌 ,实现了物体的表面高度及粗糙度Ra的高精度测量.结果表明 :粗糙度重复测量精度为1.2 nm;形貌高度分辨率为4.6 nm.

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