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特气

来源 :低温与特气 | 被引量 : 0次 | 上传用户：notfeet

【摘 要】

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特气秦裕一随着半导体工业的发展，半导体制造使用的特气需求量不断增加，主要材料气估计的需求量（特气工业会统计）如表１所列。表１主要材料气估计的需求量单位：ｋｇ注：。包括光纤维；。。包括

【作 者】

：

秦裕一 韩美 

【出 处】

：

低温与特气

【发表日期】

：

1995年04期

【关键词】

：

半导体工业 燃烧性 半导体制造 容器阀 

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特气秦裕一随着半导体工业的发展，半导体制造使用的特气需求量不断增加，主要材料气估计的需求量（特气工业会统计）如表１所列。表１主要材料气估计的需求量单位：ｋｇ注：。包括光纤维；。。包括ＰＢＭ．特气具有燃烧性、毒性、腐蚀性等各种性质。由于特气性质具有危险...

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