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纳米级微操作技术是制造纳米电子器件的技术基础。本文以HOPG和云母为基底，利用原子力显微镜，对碳纳米管团簇进行微操作。由于基底不同，在微操作过程中呈现不同的现象。这为彬纳米机械装配技术的研究作出了有益探索。
HOPG和云母基底上原子力显微镜的微操作研究
【摘 要】
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纳米级微操作技术是制造纳米电子器件的技术基础。本文以HOPG和云母为基底，利用原子力显微镜，对碳纳米管团簇进行微操作。由于基底不同，在微操作过程中呈现不同的现象。这为彬纳
【机 构】
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贵州大学光电子技术及应用重点实验室
【出 处】
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中国材料科技与设备
【发表日期】
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2006年2期
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（50375031）,教育部优秀青年教师资助计划项目（2003年）,春晖计划项目（批文：2003年591号）,贵州省科学基金项目（No.3014,No.3005）,贵州省国际科技合作计划项目（黔科合国字（2004）11004号）,贵州省高层次人才特助经费资助项目
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