七种金属基底上类金刚石膜的过渡层制备研究

来源 :真空科学与技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：cs444444

【摘要】

：

为了解决类金刚石（DLC）膜在金属基底上附着力低的困难,本研究分别利用了两种厚度不同的Ti/TiCx/DLC过渡层和一种Ti/TiNy/TiNyCx/DLC过渡层在7种金属基底上（W18Cr4V、Cr12、GCr15

【作者】

：

赵栋才任妮马占吉肖更竭武生虎

【机构】

：

兰州物理研究所

【出处】

：

真空科学与技术学报

【发表日期】

：

2008年4期

【关键词】

：

类金刚石膜硬度摩擦系数附着力 Hydrogen-free DLC Hardness Friction coefficient Adhesion

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

为了解决类金刚石（DLC）膜在金属基底上附着力低的困难,本研究分别利用了两种厚度不同的Ti/TiCx/DLC过渡层和一种Ti/TiNy/TiNyCx/DLC过渡层在7种金属基底上（W18Cr4V、Cr12、GCr15、TC4、40Cr、9Cr18、1Cr18Ni9Ti）制备了DLC薄膜。利用Si（100）基底镀膜前后的形变,计算的薄膜应力高达3.9 GPa,这种应力在过渡层中部分释放而制备了较厚（0.9μm）DLC膜。薄膜的附着力通过拉拔试验发现,选择合适的过渡层,薄膜的附着力有很大的提高,拉拔中只有胶被

其他文献

附加涵道风扇系统低稠度叶尖涡轮气动设计研究

针对一种可以极大提高涵道比的新型气驱附加涵道风扇结构开展研究,采用数值模拟手段分析其核心部件叶尖涡轮的能量损失构成和流动特征,初步探究了中弧线的设计规律,为后续发

期刊

附加涵道风扇叶尖涡轮低稠度低展弦比流动特征叶型设计数值模拟

硅藻土透水混凝土水质净化效果研究

通过相关试验,研究了掺加硅藻土对多孔混凝土强度以及水质净化效果的影响.试验结果表明,随着硅藻土掺量的增加,多孔混凝土强度降低,通过复配增强剂,能够满足植生型生态混凝土

期刊

透水混凝土硅藻土掺量水质净化重金属

浅谈地理信息系统在地下管道管理中的应用

本文主要阐述了GIS的原理及其在城市地下管道网络中的应用。在GIS基础上开发的管理系统主要是将各种管道数据进行空间分析、三维建模,图形输出。并且系统要能迅速查明地下管网状态,并能实现计算机动态信息管理,从而满足城市建设的需要。

期刊

地理信息系统事故处理子系统查询分析子系统办公系统Geographic Information System(GIS) accident transact

七种金属基底上类金刚石膜的过渡层制备研究

其他学术论文