金刚石基氮化镓(GaN)技术

来源 :超硬材料工程 | 被引量 : 0次 | 上传用户:angelagao00
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<正>金刚石在目前所知的天然物质中具有最高的热导率,室温下的导热系数高达2000Wm-1 K-1,是碳化硅导热系数的四到五倍。作为衬底材料,金刚石可以以数百纳米的尺寸沉积在GaN信道内,使晶体管设备在工作时能够有效散热。在高频、大功率GaN基高电子迁移率晶体管(HEMT)和电路的散热方面极有应用潜力。Felix Ejeckam于2003年发明了金刚石上的GaN,以有效地从GaN晶体管中最热的位置提取热量。其基本理念是利用较冷的GaN放大器使系统更节能,减少浪费。金刚石上的GaN晶片是通过GaN通道或外延将
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