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介绍了基于差动光栅结构的激光莫尔精密定位原理，分析了该光栅结构在实际工程应用中的莫尔信号变化特点。从双光栅计量的基本数学模型出发，详细讨论了5种影响定位精度的因素，给出了相应的数值计算结果，并根据这一结果提出了在工程应用中提高定位精度的措施。
差动光栅式精密定位精度的提高
【摘 要】
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介绍了基于差动光栅结构的激光莫尔精密定位原理，分析了该光栅结构在实际工程应用中的莫尔信号变化特点。从双光栅计量的基本数学模型出发，详细讨论了5种影响定位精度的因素，给
【机 构】
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东南大学自动控制系,爱知工业大学智能机械工学科
【出 处】
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计量学报
【发表日期】
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2006年1期
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