【摘 要】
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自从1967年第一台离子探针问世后,十多年来发展很快,这是由于它具有微区、微量、全元素和同位素分析以及元素深度分布测量、离子成像显示等优点,仪器不断完善并用计算机控制
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自从1967年第一台离子探针问世后,十多年来发展很快,这是由于它具有微区、微量、全元素和同位素分析以及元素深度分布测量、离子成像显示等优点,仪器不断完善并用计算机控制和数据处理。然而由于离化机理复杂,至今有许多问题尚未搞清楚,因而还不能很好地做定量分析。目前国际上正在从理论和实验两个方面努力,探索定量分析的方法,发展离子探针的应用。
Since the first ion probe came out in 1967, it has developed rapidly for more than a decade because of its advantages of micro-, micro-, total-element and isotopic analysis, elemental depth distribution measurement and ion imaging, And use computer control and data processing. However, due to the complex mechanism of ionization, many problems have not yet been clarified so far, so the quantitative analysis can not be done well. At present, the international community is working hard both theoretically and experimentally to explore the methods of quantitative analysis and to develop the application of ion probes.
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