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采用金属有机物四异丙基钛为钛源，在辅助加热ＰＣＶＤ设备上进行沉积Ｔｉ（ＣＮ）涂层研究。并对涂层进行了显微硬度测量、扫描电镜观察和Ｘ射线衍射分析。
MOPCVD制备Ti（CN）硬膜研究
【摘 要】
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采用金属有机物四异丙基钛为钛源，在辅助加热ＰＣＶＤ设备上进行沉积Ｔｉ（ＣＮ）涂层研究。并对涂层进行了显微硬度测量、扫描电镜观察和Ｘ射线衍射分析。
【机 构】
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青岛化工学院等离子体表面技术研究所
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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2000年1期
【基金项目】
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山东省自然科学基金资助课题
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