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本文介绍了微位移动态测量干涉仪的计算机数据采集、处理系统以及4(1/2)位表头的改进和独特的输入接口。由于采用了先进的计算机技术,提高了干涉仪的精度,使其测量重复性3σ<0.002μm,并可根据用户需要,选用不同的采样间隔和测量范围,最后自动打印出被测试的电感式、电容式测微仪的非线性。
微位移动态测量干涉仪智能系统
【摘 要】
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本文介绍了微位移动态测量干涉仪的计算机数据采集、处理系统以及4(1/2)位表头的改进和独特的输入接口。由于采用了先进的计算机技术,提高了干涉仪的精度,使其测量重复性3σ<0.002μm,并可根据用户需要,选用不同的采样间隔和测量范围,最后自动打印出被测试的电感式、电容式测微仪的非线性。
【机 构】
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国家技术监督局,中国计量科学研究院
【出 处】
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宇航计测技术
【发表日期】
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1990年04期
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