Ag—Cu/Ti双层膜复合体系结合强度测试方法研究

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用粘结法和划痕法测试了Ag-Cu/Ti双层膜复合体系的结合强度,并对其实验结果进行了分析、对比和讨论.结果表明:由于受胶结合强度的限制,粘结法只适用于中低结合强度的测试;划痕法适用于软金属薄膜结合强度的测试,尤其对高结合强度的薄膜特别有效,而且能测出双层膜或多层膜中薄膜之间的结合强度和膜基界面的结合强度.
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