MOCVD法ZnS∶Mn电致发光薄膜的结晶与光学特性

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用X射线衍射仪研究了MOCVD法制备的ZnS∶Mn薄膜的结晶特性,用二次离子质谱仪分析了锰在立方晶相硫化锌中的分布,解释了薄膜两侧原子堆积层的成因,测量了ZnS∶Mn电致发光薄膜的光学特性。
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