【摘 要】
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利用磁控溅射法制取了MoS_2薄膜,通过X光电子能谱、X射线衍射和AFM/FFM方法对薄膜的表面形貌、成分、化学价态、结构和微观摩擦磨损性能进行了研究.实验结果表明:MoS_2薄膜表
【机 构】
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利用磁控溅射法制取了MoS_2薄膜,通过X光电子能谱、X射线衍射和AFM/FFM方法对薄膜的表面形貌、成分、化学价态、结构和微观摩擦磨损性能进行了研究.实验结果表明:MoS_2薄膜表面呈蠕虫状,微观结构为(100)面平行于基面的非晶态,表面膜由MoS_2和少量的MoO_3组成.在微观摩擦磨损过程中,MoS_2薄膜的摩擦系数较大,且而磨性能高;微摩擦过程中没有磨合阶段,不存在摩擦机理的转变.
The morphology, composition, chemical valence, structure and microscopic friction and wear properties of MoS_2 thin films were investigated by X-ray photoelectron spectroscopy, X-ray diffraction and AFM / FFM. The results show that the surface of MoS_2 film is worm-like, the microstructure is (100) parallel to the amorphous surface, and the surface film consists of MoS_2 and a small amount of MoO_3.The friction coefficient of MoS_2 film is large during the microscopic friction and wear, And the grinding performance is high; there is no running-in stage in the micro-friction process, and there is no change in the friction mechanism.
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