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综述了国内外半导体沿面闪络的研究现状，阐述了电极结构的类型和影响闪络的主要因素；根据自定义的等值电导参数将闪络的发展划分为欧姆电导、局部闪络和贯通闪络3个阶段；通过对表面细丝电流的热过程进行实验和仿真研究，认为表面细丝电流通道的温度可以接近材料熔点，这一结果同时也支持了表面发热导致气体分子解吸附的假设；进一步通过气体解吸附的实验初步确定了存在外部的闪络通道。