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针对MD-450C型的真空镀膜机不能完成浅PN结的后期工艺处理问题,文章介绍了真空镀膜机的改造以及利用改造后的设备进行高低结的真空制备.通过对四电极霍尔效应样品的桥式等效电路的讨论,得出了浅PN结两侧导电类型同时测量的快速方法.
高低结的真空制备及霍尔效应的快速测量
【摘 要】
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针对MD-450C型的真空镀膜机不能完成浅PN结的后期工艺处理问题,文章介绍了真空镀膜机的改造以及利用改造后的设备进行高低结的真空制备.通过对四电极霍尔效应样品的桥式等效
【机 构】
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泉州师范学院功能材料研究所,泉州师范学院物理与信息工程学院
【出 处】
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泉州师范学院学报
【发表日期】
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2015年2期
【基金项目】
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福建省高校服务海西建设重点项目(A100)
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