【摘 要】
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采用溶胶凝胶的化学溶液沉积法在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备了不同浓度（0，0．05，0．1at．％）的Mn掺杂铁酸铋薄膜-薄膜晶体结构的X射线衍射结果显示不同浓度掺杂的薄膜平均晶粒尺寸相差并不大，而
【基金项目】
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梅州市科学技术局与嘉应学院联合自然科学研究项目(2013KJM02)
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采用溶胶凝胶的化学溶液沉积法在Pt／Ti／SiO2／Si衬底上制备了不同浓度（0，0．05，0．1at．％）的Mn掺杂铁酸铋薄膜-薄膜晶体结构的X射线衍射结果显示不同浓度掺杂的薄膜平均晶粒尺寸相差并不大，而薄膜的漏电流分析则表明5％Mn掺杂的铁酸铋薄膜比未掺杂和10％Mn掺杂的薄膜漏电流要小．此外，通过薄膜的铁电性能测试发现5％Mn掺杂的铁酸铋薄膜比未掺杂和10％Mn掺杂的薄膜的铁电性能也要好．根据缺陷化学理论，由氧空位的电荷补偿引起的Fe离子和Mn离子价态变化是产生这一结果的主要原因．
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