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稻壳SiC晶须生长工艺和机理研究
稻壳SiC晶须生长工艺和机理研究
来源 :高技术通讯 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lijian6185
【摘 要】
:
在以稻壳为原料,氧化物类作催化剂反应生成SiC晶须的过程中,催化剂的主要作用是形成液相,晶须生长方式以VLS为主,同时料内有少量VS方式生长的晶须,料表面有少量CVD方式生长的晶须。
【作 者】
:
韩敏芳
李伯涛
【机 构】
:
中国矿业大学北京研究生部
【出 处】
:
高技术通讯
【发表日期】
:
1995年10期
【关键词】
:
工艺
晶须生长
碳化硅
稻壳
Silicon carbide whisker
Growing processing
VLS growing mechenism
【基金项目】
:
863计划资助项目
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在以稻壳为原料,氧化物类作催化剂反应生成SiC晶须的过程中,催化剂的主要作用是形成液相,晶须生长方式以VLS为主,同时料内有少量VS方式生长的晶须,料表面有少量CVD方式生长的晶须。
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