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AZO透明导电薄膜的制备技术、光电特性及应用
AZO透明导电薄膜的制备技术、光电特性及应用
来源 :真空电子技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:vergillove
【摘 要】
:
AZO透明导电薄膜是一种半导体氧化物薄膜材料,具有高的载流子浓度和较大的光学禁带宽度,因而具有优异的光电性能,极具应用价值.本文介绍了AZO透明导电薄膜的晶体结构和光电特
【作 者】
:
葛春桥
薛亦渝
夏志林
【机 构】
:
武汉理工大学
【出 处】
:
真空电子技术
【发表日期】
:
2004年6期
【关键词】
:
AZO薄膜
光电特性
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AZO透明导电薄膜是一种半导体氧化物薄膜材料,具有高的载流子浓度和较大的光学禁带宽度,因而具有优异的光电性能,极具应用价值.本文介绍了AZO透明导电薄膜的晶体结构和光电特性,综述了国内外对AZO薄膜所开展的研究工作,并简要地介绍了AZO薄膜的实际应用.
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