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采用电子束蒸发法在玻璃衬底上制备MoO3薄膜。X射线衍射谱表明制备样品属于正交晶系，沿〈010〉晶向择优取向生长。随着衬底温度的升高，样品的晶粒尺寸先增大后减小，退火后又增大。此外，样品的（040）衍射峰随衬底温度升高单调向低衍射角方向移动。扫描电镜照片显示制备样品具有针状晶粒特征，退火后晶粒大小的分布趋于均匀。紫外-可见透过谱测试发现，随衬底温度的升高，一方面样品的光吸收边向长波方向移动，透过率降低；另一方面，样品的光学带隙由100℃时的2．93eV降为300℃时的2．59eV，经过500℃大气氛围下退