一种新颖的绝对式磁栅位移传感器

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为了提高磁栅的分辨率,降低成本并实现绝对式输出,构建了一种磁栅结构。采用永磁体作为磁栅源,6个气隙为2.8mm的线性霍尔把磁信号转换成电信号,经过差分得到三相电压信号,在信号处理上采用基于校准查表的信号处理方式。在离线状态下,用高分辨率的光栅对磁栅进行校准。对光栅的输出和磁栅的三相信号同时采样并上传到计算机,得到标准位移和三相信号的对应关系并存储在主控芯片中以供查表。实际工作状态中,分区间根据三相信号查表得到位移。根据此原理制出样机,实现了单信号周期内的绝对位置检测,分辨率达到0.001mm以下,结构简单
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