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提出一种基于集成电路超微细加工技术制造电磁干扰滤波器的薄膜集成制造新技术。该技术主要是利用现有等平面超大规模集成电路工艺完成电磁线圈的制造,使之符合现有射频集成电路制造工艺。该技术将满足射频电子系统对轻型化、小型化、单片化的应用要求。
电磁干扰滤波器的制造新方法
【摘 要】
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提出一种基于集成电路超微细加工技术制造电磁干扰滤波器的薄膜集成制造新技术。该技术主要是利用现有等平面超大规模集成电路工艺完成电磁线圈的制造,使之符合现有射频集成
【机 构】
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北京理工大学科学技术学院
【出 处】
：
现代雷达
【发表日期】
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2007年06期
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