【摘 要】
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基于原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)的关键尺寸(critical dimension,CD)测量技术可有效测量MEMS结构的侧壁形貌和线宽,针对CD-AFM的关键共性技术之一提出了一种三维图像拼接方法,旨在把结构正表面图像和侧壁图像拼接成为一幅完整的三维图像.通过旋转样品的方式,利用AFM扫描结构形貌,分别得到其正表面和侧壁的扫描图像.在两幅图像的重叠区域进行
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基于原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)的关键尺寸(critical dimension,CD)测量技术可有效测量MEMS结构的侧壁形貌和线宽,针对CD-AFM的关键共性技术之一提出了一种三维图像拼接方法,旨在把结构正表面图像和侧壁图像拼接成为一幅完整的三维图像.通过旋转样品的方式,利用AFM扫描结构形貌,分别得到其正表面和侧壁的扫描图像.在两幅图像的重叠区域进行图像预处理和快速图像相关匹配,可准确获取图像匹配点.随后,对侧壁扫描图像进行逐列翻转、切割、旋转和拼接等
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为克服常规的海上污染监测时定点取样的时空限制,采用卫星遥感技术,实现对大型海洋工程施工引起的海洋悬浮物污染进行大尺度多时相监测.实践表明,利用中国环境小卫星(HJ-1A/1B)CCD传感器第三波段建立的线性反演模型具有较高的精度,能够较好地揭示大范围填海施工形成的海洋悬浮物污染浓度分布及其扩散过程.以大连市海上机场人工岛建设为例,将计算机模拟的海域流场、现场水样实测以及涨潮或落潮等不同水流状态下悬
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