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综述了VO2薄膜的制备工艺，着重探讨了热处理工艺和条件对其性能的影响，并介绍了它的最新应用情况。
VO2薄膜的研究和应用进展
【摘 要】
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综述了VO2薄膜的制备工艺，着重探讨了热处理工艺和条件对其性能的影响，并介绍了它的最新应用情况。
【机 构】
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华中科技大学电子科学与技术系
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2003年F09期
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