谐振式湿敏元件的感湿特性

来源 :吉林大学学报(信息科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：DFHGFD43

【摘要】

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以甲基丙烯酸丁脂(Bu)和甲基丙烯酰羟乙基三甲基氯化铵(Qb)聚合而成的高分子材料为敏感膜制成了石英谐振式湿敏元件.研究了不同材料配比、制备方法对器件的湿敏性能的影响.实

【作者】

：

全宝富陈丽华林翔刘凤敏

【机构】

：

吉林大学

【出处】

：

吉林大学学报(信息科学版)

【发表日期】

：

2002年3期

【关键词】

：

湿度传感器选择性甲基丙烯酸丁酯谐振式 Humidity sensor Selectivity Methacrylate butyl Resonace ty

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以甲基丙烯酸丁脂(Bu)和甲基丙烯酰羟乙基三甲基氯化铵(Qb)聚合而成的高分子材料为敏感膜制成了石英谐振式湿敏元件.研究了不同材料配比、制备方法对器件的湿敏性能的影响.实验表明,该湿敏器件感湿范围宽、湿滞回差小(RH2%,RH:Relative Humidity)具有良好的选择性和快速的响应恢复特性.

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