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采用稀释硬脂酸和高温质子交换技术，研究了单偏振α相铌酸锂光波导的制备工艺。开发了一种高温密闭装置，通过提高蒸汽压的方法实现了350℃质子交换。波导折射率分布测试采用了棱镜薄膜耦合m线技术结合统计迭代法拟合的方法，晶相分析采用了红外吸收光谱技术。实验结果表明，掺入1．1％硬脂酸锂质量比例的硬脂酸作为缓冲质子源，经350℃／6h高温质子交换，可以形成α相铌酸锂光波导，稀释度为1．3％时，同样的温度／时间条件下，可以获得632．8nm单模α相铌酸锂光波导。