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平板式PECVD设备工艺腔加热系统的设计

来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lau_lfm

【摘 要】

：

根据太阳能PERC电池关键工艺设备——平板式PECVD设备的整体要求,介绍了其中工艺腔的加热系统设计,对加热功率进行了计算,控制方式进行了分析,通过优化设计,降低了设备的能耗

【作 者】

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杨彬 禹庆荣 苏卫中 李健志 谢利华 陈特超 

【机 构】

：

中国电子科技集团公司第四十八研究所

【出 处】

：

电子工业专用设备

【发表日期】

：

2019年2期

【关键词】

：

太阳能电池 电阻加热 电功率 温度 均匀性 Solar cells Resistance heating Electrical power Temperatur 

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根据太阳能PERC电池关键工艺设备——平板式PECVD设备的整体要求,介绍了其中工艺腔的加热系统设计,对加热功率进行了计算,控制方式进行了分析,通过优化设计,降低了设备的能耗,提高了温度均匀性。

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