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采用固-固化学法,控制适当的工艺条件,制备了纳米级氧化锆及掺杂氧化锆粉体。经XRD,TEM和HRTEM表征,证明了产物大小均匀,形状规整,呈球状,分散性好,颗粒的平均粒径小于15nm。本论文研究了固-固反应过程中球磨的作用,在球磨机械力的作用下,扩散系数和局部反应温度升高,有利于反应的进行。对固-固化学法制备前驱物进行了热力学分析,证明了在低温球磨过程中固-固化学反应能够自发进行。