韩国利用CMOS和碳纳米管制成生物传感器

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韩国科学技术院(Korea Advanced Institute of Science and Technology,KAIST)在半导体电路技术国际学会“ISSCC2015”上发表论文演讲,介绍了使用CMOS与碳纳米管制成的医疗用传感器(演讲编号:16.6)。该传感器是在利用0.35μm工艺制造的CMOS晶圆上配置碳纳米管电极制成的。
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