【摘 要】
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采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术制备非晶硅顶电池,采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备微晶硅底电池,初步优化研究了薄膜非晶硅/微晶硅
【机 构】
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南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津,300071
【基金项目】
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国家重点基础研究发展计划(973计划)
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采用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术制备非晶硅顶电池,采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术制备微晶硅底电池,初步优化研究了薄膜非晶硅/微晶硅叠层太阳电池顶电池与底电池的本征吸收层厚度匹配与电池电流匹配,以及氧化锌/金属复合背反射电极对电池的作用.研制出了面积为1.0cm2效率达9.83%的薄膜非晶硅/微晶硅叠层太阳电池.
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