非晶硅薄膜的低温快速晶化及其结构分析

来源 :物理学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：otto0127

【摘要】

：

在镀铝的廉价玻璃衬底上高速沉积的非晶硅薄膜在不同的温度下退火10min.退火温度为500℃时,薄膜表面形成了硅铝的混合相, 非晶硅薄膜开始呈现了晶化现象;退火温度为550℃时,

【作者】

：

林揆训林璇英梁厚蕴池凌飞余楚迎黄创君

【机构】

：

汕头大学物理系

【出处】

：

物理学报

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

固相晶化多晶硅薄膜非晶硅薄膜

【基金项目】

：

国家重点基础研究发展计划(973计划);

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

在镀铝的廉价玻璃衬底上高速沉积的非晶硅薄膜在不同的温度下退火10min.退火温度为500℃时,薄膜表面形成了硅铝的混合相, 非晶硅薄膜开始呈现了晶化现象;退火温度为550℃时,大部分(约80%)的非晶硅晶化为多晶硅,平均晶粒尺寸为500nm;退火温度为600℃时,几乎所有的非晶硅都转化为多晶硅,其平均晶粒尺寸约为1.5μm.

其他文献

磷脂水解与胆固醇型胆结石的可能生成机理

用胆酸盐-磷脂-胆固醇-水体系模拟胆汁的化学行为.在体系中发现,磷脂可以发生降解形成脂肪酸.而在胆汁中,磷脂在增溶胆固醇的过程中起到了十分重要的作用.依此,我们提出磷脂

期刊

红外光谱磷脂胆固醇胆结石

萘酞菁化合物LB膜的二阶非线性光学特性研究

研究了四种萘酞菁化合物LB膜的制备和二阶非线性光学特性,并对它们的二阶非线性产生机理进行了简单的讨论.不对称萘酞菁化合物的二阶非线性起源于电偶极子机制;对称萘酞菁化

期刊

萘酞菁LB膜二次谐波产生物理机制

一种复杂介质中渗流描述的广义方法

实验研究和现场实践表明 ,流体渗流的非线性和流态的多变性是复杂介质储层中的主要特征。根据实验渗流曲线的非线性特征 ,并结合微分原理 ,提出了一种广义的渗流描述法。文中

期刊

复杂介质流体渗流微分原理广义渗流描述法

新颖的常规硅工艺实现的侧向螺线型片上集成电感

提出了一种用常规硅工艺实现的片上集成电感的螺线型新结构．制造工艺使用标准双层金属布线的常规硅工艺．测量了螺线型集成电感的S参数，从测量数据计算了集成电感的参量．实验的侧

期刊

集成电感螺线电感螺旋电感品质因素integrated inductorsolenoidal inductorspiral inductorqual

InGaAs量子点的自发发射及光增益

研究了InGaAs量子点材料自发发射、放大自发发射及光增益特性.实验发现InGaAs量子点材料随着注入电流密度的增加,其自发发射及放大自发发射光谱峰蓝移,表现出明显的能带填充

期刊

量子点自发发射放大自发发射光增益PACC:73204255P6855

超磁致伸缩换能器的非线性特性

建立了超磁致伸缩换能器的等效动力学模型 ,应用Green函数得到了换能器的固有频率值 ,导出了超磁致伸缩换能器非线性振动响应的近似解析式·通过数值模拟 ,发现了超磁致伸缩

期刊

超磁致伸缩换能器非线性分叉混沌

三维连通网络陶瓷的电磁特性Ⅰ网络结构特性

分别用矩形谐振腔微扰法和波导传输线法测量了三维连通网络陶瓷及其同质粉末压片的电磁参数的温度特性和频率特性.结果表明,无论是磁性还是非磁性三维连通网络陶瓷在较宽的温

期刊

三维连通网络陶瓷微扰法波导法电损耗和磁损耗

新型高效非线性光学晶体ZCTC宏观缺陷的研究

研究了采用蒸发法生长的新型高效紫外非线性光学晶体ZnCd(SCN) 4 (简称ZCTC)中的溶液包裹物、负晶、开裂、生长条纹、扇形界及直线管道等宏观缺陷的形成。利用光学显微镜观察

期刊

ZnCd(SCN)4晶体开裂包裹物生长条纹直线管道缺陷

一种新型的实验地震学光学模拟系统

介绍了一种新型的实验地震学光学模拟系统。它将实时全息技术与声发射源测定技术相结合应用于实验地震学研究 ,前者检测和记录试件内应力场及其变化 ,后者检测和记录微破裂所

期刊

实时全息术微破裂瞬态波形自动记录仪应力(应变)场核破裂

92%Pb(Zn1/3Nb2/3)O3-8%PbTiO3晶体的生长缺陷和形貌

应用环境扫描电子显微术 (ESEM)和同步辐射X射线白光形貌术研究了 92 %Pb(Zn1 / 3Nb2 / 3)O3-8%PbTiO3(PZN -8%PT)晶体的表面形貌和缺陷 ,为生长高质量的该单晶材料提供重要

期刊

铁电晶体表面形貌缺陷晶体生长机制

非晶硅薄膜的低温快速晶化及其结构分析

其他学术论文