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以程序升温及恒温反应方式研究了CF4在Al2O3上的分解反应，测试了CF4的转化率，用XRD、比表面积测试、SEM-EDS等技术对反应前后的Al2O3进行了结构表征。结果表明：程序升温反应至700℃时CF4转化率达到最高；850℃恒温反应时γ-Al2O3的结构稳定性和反应活性较高，900℃反应时部分γ-Al2O3转变成了低活性的α-Al2O3导致比表面积和CF4转化率急剧下降。850℃是γ-Al2O3与CF4反应的最佳温度。