【摘 要】
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3.2 Wetting Layer Tailored by Epitaxial Stress Most epitaxial films wet the substrates to varying degrees in heteroepitaxy.In the paradigm systems of the QD ep
【机 构】
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中国科学院半导体研究所半导体材料重点实验室,北京,100083
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3.2 Wetting Layer Tailored by Epitaxial Stress Most epitaxial films wet the substrates to varying degrees in heteroepitaxy.In the paradigm systems of the QD epitaxial growth,InAs/GaAs (001) and Ge/Si(001),the critical wetting layer (WL) for the layer-by-layer growth is a few atomic layers in thickness,beyond which quantum dots begin to form.The problem what is the factor that controls the WL critical thickness in the two paradigm systems is still poorly understood[70].
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