ERROR ANALYSIS OF 3D DETECTING SYSTEM BASED ON WHOLE-FIELD PARALLEL CONFOCAL MICROSCOPE

来源 :中国机械工程学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ludongyan900209

【摘要】

：

Compared with the traditional scanning confocal microscopy, the effect of various factors on characteristic in multi-beam parallel confocal system is discussed,

【作者】

：

Wang Yonghong Yu Xiaofen

【机构】

：

SchoolofInstrumentation

【出处】

：

中国机械工程学报

【发表日期】

：

2005年4期

【关键词】

：

3D轮廓共焦显微镜三维检测系统误差分析 3D profile Parallel detecting Confocal Microlens array

【基金项目】

：

中国科学院资助项目，Provincial Program for Young Teacher of Colleges and Universities of Anhui，Provincial Research Foundation of Key Laboratory of Anhui

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Compared with the traditional scanning confocal microscopy, the effect of various factors on characteristic in multi-beam parallel confocal system is discussed, the error factors in multi-beam parallel confocal system are analyzed. The factors influencing

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