【摘 要】
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采用传统的固相烧结方法制备了ZnO：Ti（ZTO）陶瓷靶材,研究了TiO2掺杂量及烧结温度对靶材的微观结构、相对密度和电性能的影响。结果表明：添加适量的TiO2能促进ZTO陶瓷晶粒长大及组
【机 构】
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桂林电子科技大学材料科学与工程学院
【基金项目】
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广西“电子信息材料与器件”科技创新团队基金资助项目（No.LD08014B）
论文部分内容阅读
采用传统的固相烧结方法制备了ZnO：Ti（ZTO）陶瓷靶材,研究了TiO2掺杂量及烧结温度对靶材的微观结构、相对密度和电性能的影响。结果表明：添加适量的TiO2能促进ZTO陶瓷晶粒长大及组织均匀化,掺杂过量TiO2使ZTO陶瓷中析出ZnTi2O4;随TiO2掺杂量的增大,陶瓷靶材的电阻率ρ先快速下降后缓慢升高,当掺杂的x（TiO2）为0.5%,烧结温度为1350℃时,其ρ为1.480？.cm,相对密度为97.7%;当烧结温度为1400℃时,陶瓷靶材的ρ最低（0.305？.cm）,其相对密度为97.9%。
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