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介绍一种新的电容式石油勘探MEMS Sensor生产过程中氧化、光刻、刻蚀主要工艺的选择原则和理论依据.
石油勘探MEMS Sensor生产过程中工艺优化
【摘 要】
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介绍一种新的电容式石油勘探MEMS Sensor生产过程中氧化、光刻、刻蚀主要工艺的选择原则和理论依据.
【机 构】
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威海双丰电子集团有限公司
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2005年4期
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