【摘 要】
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<正> 微电子技术发展的核心是单个器件尺寸的等比例缩小和单片芯片上的器件数目不断增加。为了增加器件密度,器件和布线已逐渐由平面结构向多层立体结构发展。异质结、超晶格
【机 构】
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复旦大学电子工程系,上海轻工业高等专科学校化工系
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<正> 微电子技术发展的核心是单个器件尺寸的等比例缩小和单片芯片上的器件数目不断增加。为了增加器件密度,器件和布线已逐渐由平面结构向多层立体结构发展。异质结、超晶格、量子阱等新型器件发展也很迅速。为了达到以上目的,除了要求不断缩小光刻线宽,还需开发低温超薄膜工艺、异质外延工艺、微区、微结构分析测试等核心技术。同步辐射为以上需要提供了理想的新型光源。美国的IBM,AT&.T,日本的
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