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射频溅射CoMnNiO非晶薄膜是一种新型温度敏感材料。文中介绍了这种材料的材料常数、电阻温度特性以及薄膜电阻率与其厚度,指出薄膜老化是由结构驰豫引起的。文末还介绍了CoMnNiO非晶薄膜热敏电阻的设计原理及其制作方法。更多还原
CoMnNiO非晶薄膜热敏电阻
【摘 要】
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射频溅射CoMnNiO非晶薄膜是一种新型温度敏感材料。文中介绍了这种材料的材料常数、电阻温度特性以及薄膜电阻率与其厚度,指出薄膜老化是由结构驰豫引起的。文末还介绍了CoMn
【机 构】
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中科院新疆物理研究所,中科院新疆物理研究所
【出 处】
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自动化仪表
【发表日期】
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1991年8期
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