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为了提高瑞奇-康芒法检测平面镜面形误差的精度，提出了利用检测系统光瞳面与被检平面镜表面的坐标映射关系插值拟合平面镜面形的方法。结合最小二乘法分析，解算了由光路调整引入的离焦误差，获得了更为真实的平面镜面形误差。理论仿真分析显示，此方法的平面镜测量误差可控制在2／100（λ＝632．8nm）量级。对口径为40mm的小口径平面镜进行了实际检测，检测过程中通过多角度旋转被测平面镜，利用坐标映射关系和幅值转换关系对测试波前进行恢复，在分离系统离焦误差后得到被检平面镜面形RMS值为0．0186A，与干涉仪直接检测得