低阻硅衬底上形成的低损耗共平面波导传输

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：kiddmanwy

【摘要】

：

在厚膜多孔硅(PS)/氧化多孔硅(OPS)衬底上,结合聚酰亚胺涂层改善表面,研制低损耗、高性能射频(RF)/微波(MW)共平面波导CPW(Coplanar Waveguide).通过在N和P型硅上形成不同厚度PS膜,并对其上的CPW进行分析比较,厚膜PS与石英的共面波导插入损耗非常接近,远小于在2000Ω·cm高阻硅上形成的多晶硅-氧化硅组合衬底:在0-33GHz范围,插入损耗小于5dB/1.2cm;33-40GHz范围,小于7.5dB/1.2cm.

【作者】

：

葛羽屏郭方敏王伟明徐欣游淑珍邵丽于绍欣朱自强陆卫

【机构】

：

华东师范大学,信息科学与技术学院,上海,200062中国科学院上海技术物理所,红外物理国家重点实验室,上海,200083

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2004年23期

【关键词】

：

射频(RF)/微波(MW) 多孔硅/氧化多孔硅共面波导插入损耗 RF/microwave PS/OPS CPW（coplanar waveguide）

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