用“优选法”选择硼扩散温度和时间

来源 :广西师范大学学报:哲学社会科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaoshang
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过去,我厂在硅整流元件的硼扩散工艺中,根据资料及兄弟单位经验,要扩90-100微米,取扩散温度1300℃,保温时间13小时,但由于硅单晶来源不同,参数一致性差,有时扩的深度、浓度达不到要求,影响产品质量。我们采用提高温度和增长时间的办法,使结深增加,工艺最高达1310℃和18小时,也只能扩进80-87微米。
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