【摘 要】
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“扩散泵”是高真空镀膜机常用的抽气系统。由于闭循环“致冷机——低温泵”的研制成功,它具有抽速大、无沾污、操作方便等特点,为高真空镀膜提供了一种理想的抽气系统。在多
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“扩散泵”是高真空镀膜机常用的抽气系统。由于闭循环“致冷机——低温泵”的研制成功,它具有抽速大、无沾污、操作方便等特点,为高真空镀膜提供了一种理想的抽气系统。在多层膜镀制中,对于薄膜折射率的提高、残余气体影响的减小都是有利的。
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